기사 메일전송
  • 기사등록 2019-10-28 14:39:54
기사수정

[기계신문] 불소계 실리콘은 고온에서 높은 인장강도, 우수한 전기절연성과 내화학적 특성으로 인하여 반도체 공정에서 점착제, 봉지재, 박막 등의 용도를 갖는 핵심 소재로서 성장하고 있다. 28일 특허청에 따르면, 최근 10년간 불소계 실리콘 특허출원은 189건으로 2009년 이후 2017년까지 지속적으로 증가되어 왔다.



▲ 최근 10년간 불소계 실리콘 특허출원 동향(단위 : 건)



최근 5년간 세부기술 적용대상별로 살펴보면 반도체 공정상 불소계 실리콘의 박막 용도가 48건(44%), 점착제 용도가 12건(11%), 봉지재 용도가 8건(7%), 기타 표면처리제, 에칭액 등의 용도가 40건(37%)으로 나타났다.


2014~2015년에는 점착제 및 봉지재의 용도가 전체 불소계 실리콘 출원 중 60%로서 집중적으로 출원됐으나, 2016~2017년에는 박막의 용도가 58%로서 대부분을 차지하고 있다.



▲ 2014~2018년 불소계 실리콘의 적용대상별 특허출원 동향(단위 : 건)



이는 점착제 또는 봉지재의 용도보다 박막의 활용 범위가 더 넓어 4차 산업혁명의 핵심 소재인 AI 반도체, 사물인터넷(IoT) 등 반도체 기판과 신소자의 설계 및 구조 변경에 다양하게 사용되기 때문이다.


출원인의 동향을 보면, 최근 5년간 다이킨 고교 가부시키가이샤 등 일본기업의 출원이 전체의 46%이고, 동우화인켐 주식회사 등 국내기업에 의한 출원이 34%를 차지하고 있어, 일본기업이 국내기업보다 더 높은 비중을 차지하고 있는 것으로 나타났다.


최근 5년간 일본기업은 점착제 및 봉지재 용도로 각각 9건(12%), 3건(6%)을 출원하여 국내기업이 출원한 4건(11%), 5건(14%)과 비슷했다. 다만 박막 용도의 경우 일본기업이 32건(64%)으로 국내기업 12건(32%)과 2배 이상 차이가 나는 것으로 나타났다.



▲ 2014~2018년 주요 출원인 특허출원 현황(단위 : 건)



이는 일본 기업이 불소계 실리콘 중 박막 기술을 핵심 특허로 확보하기 위한 노력을 기울이고 있기 때문이다.


특허청 이숙주 고분자섬유심사과장은 “최근 일본의 수출규제에 따른 반도체 소재의 국산화율이 높지 않아, 고부가가치와 고기능을 동시에 겸비한 특수 소재인 불소계 실리콘에 대한 국내 역량 있는 기업들의 기술개발과 핵심 특허 보유가 중요하다”고 강조했다.



▲ 최근 5년간 한·일간 적용 대상별 불소계 실리콘 출원동향(단위 : 건)


기계신문, 기계산업 뉴스채널

한음표 기자 hup@mtnews.net

관련기사
TAG
기사수정

다른 곳에 퍼가실 때는 아래 고유 링크 주소를 출처로 사용해주세요.

http:// mtnews.net/news/view.php?idx= 7214
기자프로필
나도 한마디
※ 로그인 후 의견을 등록하시면, 자신의 의견을 관리하실 수 있습니다. 0/1000
서브우측_선도정밀
서브광고_바이브록
서브우측_옥수금속
서브광고_성화에스티
서브우측_한팩
서브광고_의성기어
서브광고_금화금속
서브광고_한국정밀강구
모바일 버전 바로가기