[기계신문] SKC가 일본 의존도가 90% 이상인 ArF용 등 하이엔드급 블랭크마스크(Blank Mask) 시제품을 현재 국내 수요기업과 테스트 중에 있으며, 하반기 본격 양산 예정이다.
블랭크마스크는 반응시키는 빛의 파장에 따라 KrF(불화크립톤, 248nm), ArF(불화아르곤, 193nm), EUV(극자외선, 13.5nm)용으로 구분하며, 통상 ArF와 EUV가 하이엔드급으로 분류된다.
반도체 공정의 핵심소재인 블랭크마스크가 양산되면 국내 공급안정성이 개선될 전망이다. 블랭크마스크는 對일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비 품목에 해당된다.
SKC는 2018년부터 총 430억 원을 투자하여 블랭크마스크 신규공장을 2019년 말 완공한 바 있으며, 이번 양산 품목보다 첨단제품을 2021년 양산 목표로 개발 중이다.
정승일 산업통상자원부 차관은 4월 20일(월) 오전, 충남 천안에 있는 SKC의 블랭크마스크 공장을 방문하여 소재·부품·장비 정책성과 가속화를 강조했다.
정승일 차관은 “20대 품목은 2021년 공급안정성 확보를 목표로 국내생산 확대, 기술개발, 수입국 다변화 등을 계획대로 추진중에 있으며, 특히 일본 수출규제 3개 품목은 공장 신증설, 외투기업 투자 등으로 올해 안에 완전한 공급안정화를 달성할 계획”이라고 밝혔다.
또한 “나머지 80대 품목 중심으로 올해 R&D 지원(1.2조원)을 추진 중이며, 공급선 다변화 등을 통해 기본적 공급안정성을 확보할 계획”이라고 덧붙였다.
이용선 SKC 부사장은 “정부가 신규 공장 완공에 필요한 환경 등 인허가 신속처리, 수입장비 할당관세 적용과 정부 R&D 등을 적기 지원해준 것에 대해 감사드린다”며 “국내 기업들이 소부장 정책의 추진동력을 유지할 수 있도록 소부장 협력모델에 대한 정부의 관심과 지원이 필요하다”고 요청했다.
이에 정 차관은 “소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해서는 정부, 수요·공급기업들 간 긴밀한 협력이 중요하다”며 “조기성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목의 상용화에 올해 2,100억 원 이상을 집중 지원할 계획”이라고 밝혔다.
한편, SKC는 종합 소재전문 기업으로 그간 디스플레이용, 포장용 등 다양한 산업용 필름을 생산해왔으며, 자동차 등 산업의 첨단 고부가 소재 기술도 적극 확보 중이다.
일본의 3대 수출규제 품목인 불화 폴리이미드에 대해 850억 원을 투자하여 작년말 완공된 신규공장에서 시제품을 생산 중에 있으며, 지난 1월에는 글로벌 동박(전기차 배터리 소재) 제조업체인 KCFT를 1.2조원에 100% 인수하였다.
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