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  • 기사등록 2020-06-18 10:06:36
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▲ ㈜템퍼스가 반도체 테스트베드 기관인 나노종합기술원과 공동 개발을 통해 ‘비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서’의 양산에 성공했다. 사진은 나노종합기술원 전경



[기계신문] 국내 중소기업 ㈜템퍼스가 반도체 테스트베드 기관인 나노종합기술원과 공동 개발을 통해 ‘비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서’의 양산에 성공했다.


마이크로 적외선 센서(thermopile)는 서로 다른 두 금속의 접촉 부위의 온도 차이에 의해 열기전력이 발생하는 원리를 이용하여 인체감지에 유리한 원적외선(8~14㎛대)을 검출하는 실시간 온도 측정 센서이다.


코로나19 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하면서 ㈜템퍼스는 체온계용 적외선 온도센서의 대량양산 기술개발을 나노종합기술원과 공동으로 추진해 왔다.


이번에 양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 국내 최초로 반도체 호환공정을 적용하여 높은 수율 확보가 가능하고, 공정 단순화로 가격 경쟁력을 획기적으로 높인 것이 가장 큰 장점이다.


마이크로 적외선 센서는 그동안 미국, 독일 등 해외 선진국이 사실상 독점해 왔는데, ㈜템퍼스와 나노종합기술원이 공동개발을 통해 미세기계전자시스템(MEMS) 기반 공정에 반도체 제조공정(CMOS)을 접목하여 생산성을 향상시켰으며, 경쟁사 대비 감도가 3~5배 우수한 특성을 확보했다.


최근 코로나19로 인한 방역에 필수적인 비접촉식 체온계의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라, 중국 등 아시아, 미국, 유럽 등 해외에서 구매문의가 크게 늘고 있는 추세로, 이미 500만 개의 온도센서를 국내외 체온계 제작기업에 납품 완료하였다.


또, 지난 6월 15일에는 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아 본격적인 미국 수출을 앞두게 되었다.


㈜템퍼스 신백규 대표는 “적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술 지원이 가능한 나노종합기술원의 협업을 통해 제품양산과 다양한 애플리케이션의 확대가 가능하게 되어, 국내외 비접촉 체온계시장을 적극 공략할 계획”이라고 밝혔다.


한편, 나노종합기술원은 자체 개발한 핵심공정기술을 중소 센서 기업인 ㈜트루윈에 이전, 공동으로 양산기술을 개발한 이후 양산단계까지 지원하여, 지난 3월에 ‘적외선 열영상 센서’ 상용화에 성공한 바 있으며, ㈜트루윈이 양산·판매 중인 센서와 적외선 영상 카메라는 코로나19로 인한 국내외 수요 증대로 올해 약 145억 원의 매출이 예상된다.


기계신문, 기계산업 뉴스채널

오상미 기자 osm@mtnews.net

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